蒸着技術

真空プラズマスプレー / 低圧プラズマスプレー(VPS/LPPS)

大気プラズマ溶射と同様に、真空プラズマ溶射(VPS)または低圧プラズマ溶射(LPPS)も溶射技術です。酸化を防ぐために真空チャンバー内で、または低圧に維持されたアルゴンなどの不活性ガス内で実施されます。金属またはセラミック粉末を高温プラズマガスに注入し、粉末を溶かします。溶融した液滴を基材上に投射して、コーティングを形成します。

VPS/LPPS の利点は、溶融粒子の溶射速度と温度が空気中よりも高くなり、APSで到達できる被膜と比較し、酸化物含有率が低減され高い結合強度と密度が得られることです。VPS/LPPS コーティングは気孔率が低く、純度が高くなります。

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